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一种高性能ZAO旋转靶材的制备方法，它涉及一种含氧化锌掺铝的陶瓷靶材成型的制备方法。本发明是要解决目前制备ZAO旋转靶材采用喷涂方法设备昂贵，制备的靶材密度低的技术问题。本发明的制备方法按以下步骤进行：一、将ZAO粉体在模具中压制成粗坯；二...
该专利属于河北东同光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北东同光电科技有限公司授权不得商用。

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