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层叠装置制造方法及图纸
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文档序号:978398
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本发明提供一种层叠装置,其不使用安装框,能够简单地安装膜片。本发明的层叠装置(100)具备:在下表面安装有膜片(140)的上腔室(110)、和与该上腔室(110)重叠并在内部具备支撑台(130)的下腔室(120),该支撑台(130)载置被层...
该专利属于日清纺绩株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日清纺绩株式会社授权不得商用。
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