下载一种半导体器件的技术资料

文档序号:9781729

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本实用新型公开了一种半导体器件,该器件包括:半导体本体;半导体本体中的单元区域,其中单元区域包括至少一个沟槽场效应晶体管结构,所述结构包括:漏极区,漂移区,源极区,本体区,纵向延伸穿过源极区与本体区并进入漂移区的沟槽,其中形成沟槽使得源极区...
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