下载监测漏电的结构的技术资料

文档序号:9781714

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本实用新型提出了一种监测漏电的结构,用于监测不同层之间的漏电情况,包括:同层监测结构、相邻监测层以及形成于所述同层监测结构和所述相邻监测层之间的介质层;在同层监测结构之下或者之上形成有相邻监测层,同层监测结构与相邻监测层之间形成有介质层起隔...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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