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无窗电离装置制造方法及图纸
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下载无窗电离装置的技术资料
文档序号:9769985
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一种电离装置包括:配置成生成等离子体的等离子体源。等离子体包括光、等离子体离子和等离子体电子。等离子体源包括孔径,所述孔径布置成使得光的至少一部分穿过孔径并且入射在气体样本上。电离装置还包括电离区域;以及等离子体偏转装置,所述等离子体偏转装...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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