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提供了一种用于混合蒸发的前体和气体以制备二氧化硅颗粒的设备。该设备包括混合器外壳，具有与该混合器外壳连通的出料口、用于在该混合器外壳中递送蒸发的前体的前体递送室，以及具有与该混合器外壳连通的出料口、用于递送待与所述蒸发的前体混合的氧化气体的...
该专利属于康宁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康宁股份有限公司授权不得商用。

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