下载蓝宝石基板的再生方法的技术资料

文档序号:9767200

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本发明为一种蓝宝石基板的再生方法,其先提供一半导体结构,将该半导体结构浸渍于一碱性水溶液,以去除该半导体结构的一蓝宝石基板上的一磊晶结构,并在经过清洗制程,将该半导体结构的残留浸渍液去除后,得到一再生的蓝宝石基板,藉由上述步骤进行再生的制程...
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