下载一种提升晶体硅太阳电池光电转换效率的扩散工艺的技术资料

文档序号:9767190

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本发明公开了一种提升晶体硅太阳电池光电转换效率的扩散方法,增加扩散工艺推进步骤的氧气流量,减缓结深变大,同时明显提高N层杂质含量,PN结电势差加大导致开路电压得到一定的提升,从而提高光电转换效率,该方法工艺简单成本低廉,对太阳电池的光电转换...
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