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本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底,衬底背面设有接地电极;位于衬底上的半导体层,半导体层包括有源区和无源区,有源区为封闭形式,有源区之外的区域为无源区;位于半导体层上的源极和漏极;位于半导体层上的栅极,栅极在源极和...该专利属于苏州能讯高能半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州能讯高能半导体有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底,衬底背面设有接地电极;位于衬底上的半导体层,半导体层包括有源区和无源区,有源区为封闭形式,有源区之外的区域为无源区;位于半导体层上的源极和漏极;位于半导体层上的栅极,栅极在源极和...