下载半导体器件的形成方法、晶体管的形成方法的技术资料

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一种半导体器件的形成方法、晶体管的形成方法,其中,半导体器件的形成方法包括:提供绝缘体上半导体衬底,绝缘体上半导体衬底包括:基底、基底表面的绝缘层、以及绝缘层表面的半导体层;在半导体衬底表面形成掩膜层并暴露出部分半导体衬底表面;以掩膜层为掩...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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