下载三维集成电路(3DIC)堆叠的载体翘曲控制的技术资料

文档序号:9766987

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形成封装堆叠(PoP)器件的实施例方法包括:在载体上临时安装衬底;在衬底上堆叠第一管芯,管芯和衬底中至少一个具有与载体失配的热膨胀系数;以及在第一管芯上堆叠第二管芯。衬底可以由有机衬底、陶瓷衬底、硅衬底、玻璃衬底、和层压衬底中的一个形成。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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