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一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器制造技术
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下载一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器的技术资料
文档序号:9764257
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本发明实施例提供了一种非制冷红外焦平面阵列探测器,包括:透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元,其中,所述微悬臂梁单元以非嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上;所述微悬臂梁单元包括热形变结构、反光板复合结构和支撑...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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