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本发明公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，涉及扫描探针显微镜的扫描结构，包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片，XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定，弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上，滑杆的两端皆伸出于导轨架...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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