低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器制造技术

本发明专利技术公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，涉及扫描探针显微镜的扫描结构，包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片，XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定，弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上，滑杆的两端皆伸出于导轨架的导轨长度以外。本发明专利技术具有结构简单、工作高度稳定、回差极小的优点。利用本发明专利技术首次制成了仅使用小尺寸XYZ压电扫描管就能以低电压进行扫描成像的扫描探针显微镜，解决了现有技术不能兼顾这两个有利条件的难题。另外，使用本发明专利技术也制成了无需隔音、减振也能出同样高质量原子分辨率图像的扫描探针显微镜。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，包括XYZ压电扫描管（1），其特征是还包括导轨架（2）、滑杆（3）、弹簧片（4），所述XYZ压电扫描管（1）与滑杆（3）共轴并且在一端相互固定，所述弹簧片（4）将滑杆（3）外壁平行地压于导轨架（2）的导轨（2a）上，滑杆（3）的两端皆伸出于导轨架（2）的导轨（2a）长度以外，这种形成摩擦力的结构不仅最简单，而且局域摩擦条件和摩擦系数易于保持一致，同时形成摩擦力的正压力在全部行程内不会发生变化，从而产生恒定、一致、可重复的摩擦力，降低了扫描器的回差；此外，导轨（2a）的全长处于滑杆（3）长度之内，避免了导轨（2a）端面与滑杆（3）端面之间的相互作用，使得...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王琦，陆轻铀，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：