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本实用新型提供一种磁控溅射设备，包括固定板、背板及靶材，所述背板及靶材通过竖直板固定在所述固定板上，所述背板上焊接有所述靶材，所述靶材四周边缘设有挡边条，所述靶材下方被击穿部位设有凸起部，所述凸起部呈圆形，所述背板的上表面设有凹槽，所述凹槽...
该专利属于天津市长久科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市长久科技发展有限公司授权不得商用。

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