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文档序号:9741796
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一种用于从基板(112)去除表面部分的采样装置(10)。所述装置包括框架结构(16)和刀具头组件(12)。刀具头组件(12)包含:枢轴体(32),具有支撑在框架结构上的枢轴点(108)处的第一端(42);以及刀具,绕旋转轴线旋转地支撑在枢轴...
该专利属于西门子能量股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子能量股份有限公司授权不得商用。
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