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一种用在双极型集成电路中的高速结型场效应晶体管制造技术
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下载一种用在双极型集成电路中的高速结型场效应晶体管的技术资料
文档序号:9739433
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一种用在双极型集成电路中的高速结型场效应晶体管,形成一个导电型的外延层,包括与导电型相反的薄沟道有关的漏源区。沟道区形成该导电型薄的表面层,在漏源区的中间层表面形成高速导电接触面。接触表面可以包括其表面金属层的高掺杂多晶硅材料。接触表面和外...
该专利属于苏州贝克微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州贝克微电子有限公司授权不得商用。
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