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本发明涉及一种曝光机文件自动检查系统，系统包括：光刻曝光机文件建立条件信息模块、光罩信息模块、曝光机文件建立/导出模块和数据处理模块；光罩信息模块中存储有光罩信息，曝光机文件建立/导出模块中存储有曝光机文件，曝光机文件建立条件信息模块中存储...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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