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本发明公开了一种介质-金属干涉型选择性吸收膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:A、采用直流磁控溅射的方法在基底上磁控溅射反射层;B、采用氧气作为反应气体,在步骤A中的反射层上磁控溅射介质层;C、采用直流磁控溅射的方法在步骤B中的介质层上磁...该专利属于中山市创科科研技术服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山市创科科研技术服务有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种介质-金属干涉型选择性吸收膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:A、采用直流磁控溅射的方法在基底上磁控溅射反射层;B、采用氧气作为反应气体,在步骤A中的反射层上磁控溅射介质层;C、采用直流磁控溅射的方法在步骤B中的介质层上磁...