下载用于制造多个光电子半导体芯片的方法的技术资料

文档序号:9721886

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本发明提出一种用于制造多个光电子半导体芯片的方法,所述方法包括至少下述方法步骤:提供至少一个半导体本体(1);借助于至少一个结构化工艺(3)将至少一条沟道(2)引入到所述半导体本体(1)中,其中,沟道(2)在竖直的方向(V)上贯通所述有源区...
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