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本发明内容的实施例了提供制造薄膜晶体管器件的方法，对形成于薄膜晶体管器件中的有源层的周边侧壁有良好的轮廓控制。在一实施例中，一种制造薄膜晶体管器件的方法包括：提供基板，所述基板具有有源层形成于其上，源极-漏极金属电极层设置在所述有源层上，其...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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