下载非晶质氧化物薄膜的制造方法及薄膜晶体管的技术资料

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非晶质氧化物薄膜的制造方法包括以下步骤:前处理步骤,对包含有机成分及In的第一氧化物前驱物膜,在小于所述有机成分的热分解温度的温度下使所述有机成分的键结状态选择性地变化,而获得第二氧化物前驱物膜,所述第二氧化物前驱物膜在以傅立叶变换型红外光...
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