下载基板上的图案形成方法的技术资料

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一种基板上的图案形成方法,包括:将多片基板贴附于承载板上,且基板彼此分离。撷取贴附有基板的承载板的参考影像。对参考影像进行影像处理以获得基板的处理信息。使用激光记忆曝光机根据基板的处理信息对基板进行曝光步骤。...
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