下载一种基于有机薄膜晶体管一氧化碳气体传感器的制备方法的技术资料

文档序号:9717891

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本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管一氧化碳气体传感器的制备方法,先对衬底进行彻底的清洗,清洗后干燥;在衬底的表面制备栅电极,形成栅电极的图形;在镀有栅电极的基板的上制备介电层;对形成的介电层进行氧等离子轰击;在已形成栅电极,以及己覆盖经氧等...
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