温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型揭露了一种晶圆支架，用于与晶舟和运输盒配套使用放置晶圆，所述晶舟上设有多个插槽，所述晶圆支架包括前侧壁和后侧壁，所述前侧壁和后侧壁之间有平行设置的凸起的多个隔板，所述隔板将前侧壁和后侧壁之间的隔出多个通槽，所述通槽与所述插槽共面且...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。