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本实用新型提供一种晶圆清洗装置，所述晶圆清洗装置至少包括：清洗容器，具有一晶圆输入口和晶圆输出口；用于传送晶圆的传送装置，设置于所述清洗容器中；用于承载晶圆的至少一个托盘，设置于所述传送装置上；用于清洗晶圆的至少一个清洗槽，设置于所述清洗容...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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