下载适用于等离子体处理室的真空密封装置的技术资料

文档序号:9698785

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种真空密封装置,其包括:一体成型的弹性垫圈,其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环;第一部件,其具有第一平坦密封表面,所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽,所述第一部件还包括由所述第一O形...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。