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适用于等离子体处理室的真空密封装置制造方法及图纸
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下载适用于等离子体处理室的真空密封装置的技术资料
文档序号:9698785
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一种真空密封装置,其包括:一体成型的弹性垫圈,其具有通过平坦的连接部相互连接的至少第一和第二O形环;第一部件,其具有第一平坦密封表面,所述表面中具有保持所述第一O形环的鸽尾形槽和保持所述第二O形环的方壁形槽,所述第一部件还包括由所述第一O形...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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