下载一种高效率太阳能电池的制备方法的技术资料

文档序号:9695904

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本发明公开了一种高效率太阳能电池的制备方法,该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤:清洗制绒;三氯氧磷液态源扩散;干法刻蚀;去除PSG,清洗液配制;减反射膜制备-PECVD;丝网印刷,背电极印刷,1号烘箱,背电场印刷,2号烘箱,正电极印刷...
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