下载一种激光阵列热沉模块的技术资料

文档序号:9685130

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本发明公开了一种激光阵列热沉模块及其制作方法。该热沉模块包括:双对称屏蔽孔、连接屏蔽孔的金属线、微带线、激光器阵列、基底和底端散热模块;其中:激光器阵列和微带线均布置在基底上,并通过连接线对应相连,形成信号通路;双对称屏蔽孔位于两个微带线间...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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