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精密对位平台制造技术
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文档序号:9680834
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本实用新型提供一种精密对位平台,以三组动力装置带动一第三移动单元移动,其中两组动力装置可分别带动第三移动单元于X及Y方向上移动,另一组动力装置则设有蜗杆而可驱动设于该第二移动单元与该第三移动单元间的一弧形齿排,进而带动该第三移动单元转动。通...
该专利属于吴茂祥所有,仅供学习研究参考,未经过吴茂祥授权不得商用。
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