温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出一种清洁装置，包括：防尘罩、圆形导轨、刮刀、滚动轴、旋转盘和操作杆；其中，圆形导轨设置在防尘罩的内壁上；旋转盘通过滚动轴设置在圆形导轨上；刮刀设置在旋转盘上；操作杆一端与旋转盘连接，另一端延伸至防尘罩外；将防尘罩罩住电极，摇动...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。