温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种降能器（10）及具备该降能器的带电粒子束照射系统，所述降能器能够缓解能量较低的带电粒子束的透射率的下降。本发明的降能器（10）具备能量衰减量不同的多个衰减部件（11A～11G），由透射率高于能量衰减量较小的高能量侧衰减部件（1...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。