降能器及具备该降能器的带电粒子束照射系统技术方案

技术编号:9673124 阅读:94 留言:0更新日期:2014-02-14 22:06
本发明专利技术提供一种降能器(10)及具备该降能器的带电粒子束照射系统,所述降能器能够缓解能量较低的带电粒子束的透射率的下降。本发明专利技术的降能器(10)具备能量衰减量不同的多个衰减部件(11A~11G),由透射率高于能量衰减量较小的高能量侧衰减部件(11A)的材质来形成能量衰减量较大的低能量侧衰减部件(11G)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种降能器,其具备衰减所入射的带电粒子束的能量的多个衰减部件,所述降能器的特征在于,具有衰减的能量的量不同的多个所述衰减部件,由所述带电粒子束的透射率高于衰减的能量的量较小的所述衰减部件即高能量侧衰减部件的材质,构成衰减的能量的量较大的所述衰减部件即低能量侧衰减部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:宫下拓也上田隆正
申请(专利权)人:住友重机械工业株式会社
类型:
国别省市:

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