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在聚合物基材表面形成可以剥离的弹性体掩模板的方法技术
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下载在聚合物基材表面形成可以剥离的弹性体掩模板的方法的技术资料
文档序号:9670000
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一种在聚合物基材表面形成可剥离弹性体掩模板的方法,包括以下步骤:第一步,聚合物基材表面预先形成提高粘结性的涂层;第二步,然后利用光刻工艺在聚合物基材表面形成由光刻胶构成的与掩模板互补的图形;第三步,再形成一定厚度的弹性体涂层;第四步,去除光...
该专利属于西安文景光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安文景光电科技有限公司授权不得商用。
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