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本发明提供一种半导体结构，包括半导体衬底和位于半导体衬底上方的至少两个半导体鳍片，其中：所述至少两个半导体鳍片的方向相互平行；以及所述至少两个半导体鳍片相互平行的侧面的晶面互不相同。本发明还提供一种用于制造上述半导体结构的方法。本发明提供的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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