下载半导体器件的金属布线及半导体器件的金属布线形成方法的技术资料

文档序号:9669654

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本发明的一个实施例所提供的半导体器件的金属布线,包含数字隔离区域、第一下部金属、第一上部金属、层叠在第一下部金属与第一上部金属之间的多个层间绝缘膜,每一个层间绝缘膜包含至少一个接触插塞,布置在最下侧的层间绝缘膜的接触插塞与第一下部金属接触,...
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