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本发明提供一种互补式薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置,属于薄膜晶体管制备技术领域,其可解决现有的互补式薄膜晶体管的第一薄膜晶体管与第二薄膜晶体管的有源层材料互相影响的问题。本发明的互补式薄膜晶体管的制备方法,包括:通过构图工艺,在...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种互补式薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置,属于薄膜晶体管制备技术领域,其可解决现有的互补式薄膜晶体管的第一薄膜晶体管与第二薄膜晶体管的有源层材料互相影响的问题。本发明的互补式薄膜晶体管的制备方法,包括:通过构图工艺,在...