下载光学位移侦测装置及方法的技术资料

文档序号:9667400

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本发明提出一种光学位移侦测装置及光学位移侦测方法。光学位移侦测装置,包含:光源,投射探照光至待测表面;影像撷取单元,其根据从待测表面反射的光线,以产生影像讯号;以及处理单元,根据影像讯号,产生曝光状态值与影像特征值,并根据初始曝光范围、曝光...
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