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光学位移侦测装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:9667400
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本发明提出一种光学位移侦测装置及光学位移侦测方法。光学位移侦测装置,包含:光源,投射探照光至待测表面;影像撷取单元,其根据从待测表面反射的光线,以产生影像讯号;以及处理单元,根据影像讯号,产生曝光状态值与影像特征值,并根据初始曝光范围、曝光...
该专利属于原相科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过原相科技股份有限公司授权不得商用。
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