专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
罗门哈斯电子材料有限公司
>
光刻胶组合物和形成光刻图案的方法技术
>技术资料下载
下载光刻胶组合物和形成光刻图案的方法的技术资料
文档序号:9666949
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
光刻胶组合物和形成光刻图案的方法。一种光刻胶组合物,所述光刻胶组合物包含:包含酸不稳定基团的第一聚合物;第二聚合物,所述第二聚合物包含:由下列通式(I)的第一单体形成的第一单元,其中:P是可聚合的官能团;R1选自取代和未取代的C1-C20线...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。