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光刻胶组合物和形成光刻图案的方法。一种光刻胶组合物,所述光刻胶组合物包含:包含酸不稳定基团的第一聚合物;第二聚合物,所述第二聚合物包含:由下列通式(I)的第一单体形成的第一单元,其中:P是可聚合的官能团;R1选自取代和未取代的C1-C20线...
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