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本发明属于纳米压印技术领域，具体公开了一种用于纳米压印的复合模板及其制备方法，目的在于制作出一种尺度小、面积大、易于脱模、可重复使用的纳米压印模板。首先通过热压印制备弹性体薄膜；其次通过热压印在弹性体薄膜表面获得纳米结构；再通过PECVD的...
该专利属于无锡英普林纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡英普林纳米科技有限公司授权不得商用。

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