下载用于单晶过程流体压力传感器的热诊断的技术资料

文档序号:9665956

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本发明公开一种验证单晶压力传感器的状态的方法。该方法包括提供单晶压力传感器,其具有随着所施加的被连接到第一输出和第二输出的压力变化的至少一个电特性。压力传感器还具有位于其中的至少一个电阻元件。电流通过电阻元件施加以加热压力传感器。压力传感器...
该专利属于罗斯蒙德公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗斯蒙德公司授权不得商用。

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