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大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法技术
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文档序号:9665724
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本发明涉及一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。现有方法成本高、精度低其效率也较低。本发明的方法为选择透射标准镜头;调整激光波面干涉仪的位置;调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合;调整被测抛物面反射镜的光轴与激...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。
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