大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法技术

本发明专利技术涉及一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。现有方法成本高、精度低其效率也较低。本发明专利技术的方法为选择透射标准镜头；调整激光波面干涉仪的位置；调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；调整标准平面反射镜；旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A；根据子孔径划分方案；重复第六步和第七步。本发明专利技术为低成本、高精度、高效率的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。

【技术实现步骤摘要】
大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法
本专利技术属于光学测试
，主要涉及一种针对旋转对称的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。技术背景以抛物面镜为主镜的光学系统在天文光学、空间光学和军事等高
得到了越来越广泛的应用，为了增大光学系统的聚光能力和峰值光强，光学系统的突出特征是大口径和大相对孔径。大口径大相对孔径抛物面镜的制造需要相应的检测技术，然而，对大口径大相对孔径抛物面镜进行高精度检测仍存在有很多挑战。抛物面的抛光阶段，通常的定量检测方法有自准直法和补偿镜零位检验法。自准直法利用抛物面存在一对共轭的无像差点（几何焦点和无穷远处），当点光源精确位于几何焦点上时，可以用一块与被测抛物面镜口径相当的高精度平面反射镜实现共轭，然而对于大口径抛物面镜所需高精度平面反射镜制造困难，价格昂贵，对于超大口径抛物面镜的自准直更是难以实现，而且对于大相对孔径抛物面镜需要选择比其更大相对孔径的透射标准镜，随着相对孔径的增大，透射标准镜已不能满足大相对孔径的抛物面反射镜的检测；补偿镜零位检验法是借助补偿镜将将平面波前或球面波前转换为与被测抛物面反射镜理论形状重合的抛物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步：选择透射标准镜头，并装夹至激光波面干涉仪上；第二步：调整激光波面干涉仪的位置，使激光波面干涉仪的焦点与其调整机构的旋转中心O重合；第三步：调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；第四步：调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；第五步：调整标准平面反射镜，使入射至被测抛物面反射镜的光线经平面镜反射后沿原路返回，即形成自准直测量原理；第六步：根据激光干涉仪上所安装透射标准镜头的相对孔径，旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A，用激光波面干涉仪测量被测抛物面此区域的面形误差，数据...

【技术特征摘要】
1.一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步：选择透射标准镜头，并装夹至激光波面干涉仪上；第二步：调整激光波面干涉仪的位置，使激光波面干涉仪的焦点与其调整机构的旋转中心O重合；第三步：调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；第四步：调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；第五步：调整标准平面反射镜，使入射至被测抛物面反射镜的光线经平面镜反射后沿原路返回，即形成自准直测量原理；第六步：根据激光干涉仪上所安装透射标准镜头的相对孔径，旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A，用激光波面干涉仪测量被测抛物面此区域的面形误差，数据存盘，并记录激光波面干涉仪的旋转角度；所述子孔径的划分方案：根据激光波面干涉仪标准透镜的相对孔径，可以获得激光波面干涉仪的视场角θ，定义激光波面干涉仪所对准的被测件的区域为第一环上第一个子孔径A，根据两两子孔径重叠面积不小于单一子孔径面积1/4的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丙才，王红军，王春慧，朱学亮，田爱玲，潘永强，杨皓聿，鲍佳男，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：