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本发明公开了一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪、标准平晶、自由曲面梯度补偿模块和待测自由曲面，自由曲面梯度补偿模块的主光轴与干涉测试装置主光轴重合，菲索干涉仪的发出的平行光束经过标准平晶后分成两束光，一束光从标准...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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