共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪、标准平晶、自由曲面梯度补偿模块和待测自由曲面，自由曲面梯度补偿模块的主光轴与干涉测试装置主光轴重合，菲索干涉仪的发出的平行光束经过标准平晶后分成两束光，一束光从标准平晶表面反射回菲索干涉仪形成参考光，另一束光进入自由曲面梯度补偿模块，并从自由曲面梯度补偿模块出射，形成不同倾斜角度的测试光束入射到待测自由曲面，经过待测自由曲面反射回到自由曲面梯度补偿模块，最终从自由曲面梯度补偿模块出射，返回菲索干涉仪形成测试光。本装置同时实现了局部梯度较大的光学自由曲面的高精度测量和测试装置的可移植性模块化。

【技术实现步骤摘要】
共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置
本专利技术属于光学精密测量领域，是一种用于测量光学自由曲面的装置。
技术介绍
在传统大型光学系统的设计制造过程中，为了获得较好的光学质量，往往会使用一些较大口径的光学元件，这些光学元件体积大、加工制造困难、成本高、面型质量受环境和应力影响大。光学自由曲面，不仅可以获得较之传统光学面型更好的光学质量，同时大大减小了光学元件的体积尺寸，具有重量轻、装调方便、成本低等优点。光学自由曲面已经大量用于天文观测、国防武器等不同领域。然而光学自由曲面的测量水平严重限制了光学自由曲面加工制造水平的提高。由于光学自由曲面面型自由度较高,局部面型梯度变化大,采用传统干涉测量装置进行测量，往往干涉条纹密度过大，超过了探测器的探测动态范围，无法获得条纹信息来测量光学自由曲面的面型质量。目前国内还没有采用点光源阵列来实现光学自由曲面测量的装置，通常采用的比较多的是通过计算全息法(CGH)来测量光学自由曲面(J.C.Wyant and V.P.Bennett,Using Computer Generated Holograms to Test Aspheric本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）和待测自由曲面（3），标准平晶（2）位于菲索干涉仪（1）和待测自由曲面（3）之间，其特征在于：标准平晶（2）和待测自由曲面（3）之间还插入了自由曲面梯度补偿模块（10），自由曲面梯度补偿模块（10）的主光轴与菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）和待测自由曲面（3）构成的主光轴重合，菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）、自由曲面梯度补偿模块（10）和待测自由曲面（3）构成干涉测量装置的主光轴，菲索干涉仪（1）发出的平行光束经过标准平晶（2）后分成两束光，一束光从标准平晶（2）表面反射回菲索干涉仪（1）形成参考光，另一束光...

【技术特征摘要】
1.一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪(I)、标准平晶(2)和待测自由曲面(3)，标准平晶(2)位于菲索干涉仪(I)和待测自由曲面(3)之间，其特征在于:标准平晶(2)和待测自由曲面(3)之间还插入了自由曲面梯度补偿模块(10)，自由曲面梯度补偿模块(10)的主光轴与菲索干涉仪(I)、标准平晶(2)和待测自由曲面(3)构成的主光轴重合，菲索干涉仪(I)、标准平晶(2)、自由曲面梯度补偿模块(10)和待测自由曲面(3)构成干涉测量装置的主光轴，菲索干涉仪(I)发出的平行光束经过标准平晶(2)后分成两束光，一束光从标准平晶(2)表面反射回菲索干涉仪(I)形成参考光，另一束光进入自由曲面梯度补偿模块(10)，并从自由曲面梯度补偿模块(10)出射，形成不同倾斜角度的测试光束入射到待测自由曲面(3)，经过待测自由曲面(3)反射回到自由曲面梯度补偿模块(10)，最终从自由曲面梯度补偿模块(10)出射，返回菲索干涉仪(I)形成测试光。2.根据权利要求1所述的共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，其特征在于:所述的自由曲面梯度补偿模块(10)包括微透镜阵列(4)、针孔阵列(5)、动态掩膜板(6)、准直物镜(7)和标准透镜(8)，测试光透过标准平晶(2)入...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈华，朱日宏，陈磊，何勇，王青，荣四海，李建欣，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：