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本发明涉及用于形成无定形硬碳涂层的方法和设备。在等离子加工设备中包括限定加工腔的圆柱形电极、置于所述加工腔的中心区域中的杆状电极、并且所述杆状电极和所述圆柱形电极之间的距离是1至10mm，通过连续进行以下一系列的步骤来执行无定形且硬的碳涂层...
该专利属于株式会社电装所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社电装授权不得商用。

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