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本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置，根据本发明的溅射装置，包括：工序腔室，提供工序空间；管状目标，设置于所述工序空间；磁铁模块，插入设置于所述管状目标的内部；驱动部，安装于所述工序腔室的内部壁上，结合于所述管状...
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