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本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡锌薄膜的方法，在制备新型氧化铟锡锌靶材的过程中，添加高含量的氧化锌元素的形成氧化铟锡锌材料，溅镀薄膜时搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，大幅降低薄膜的电阻，在适当的厚度控制下...
该专利属于研创应用材料（赣州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过研创应用材料（赣州）有限公司授权不得商用。

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