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本发明公开了一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法,使用整卷不锈钢为基材,第一层下电极薄膜的制备使用钼钠靶材,高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率,缓冲层方面使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴...该专利属于研创应用材料(赣州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研创应用材料(赣州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法,使用整卷不锈钢为基材,第一层下电极薄膜的制备使用钼钠靶材,高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率,缓冲层方面使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴...