下载镍靶材及镍靶材组件的制造方法的技术资料

文档序号:9662716

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本发明提供一种镍靶材及镍靶材组件的制造方法,镍靶材的制作方法,包括:提供镍锭;对镍锭热锻,形成第一镍靶材坯料;对第一镍靶材坯料第一热处理,形成第二镍靶材坯料,第一热处理温度为450℃~550℃,保温1小时~2小时;第一热处理后,对第二镍靶材...
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